Mechanical gas flow sensors based on silicon micromachining

Författare
Tekniska högskolan i Stockholm Niklas Svedin
(Niklas Svedin., Härtill 6 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Stockholm : Tekn. högsk., 2003)
Genre
theses, Avhandlingar
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
2003 Sverige, Stockholm iv, 52 sidor. ill. 24 cm